技术:泵为微观世界做准备

日期:2017-09-02 07:07:24 作者:郁浏 阅读:

西雅图华盛顿大学的西门子工程师设计了一种可以在微观尺度上移动流体的硅“微型泵”该设备代表了微型工程的突破该团队使用无机械部件制造了他们的泵,这使得生产小型化的传统泵 - 如何制造微型齿轮和其他部件 - 成为一个主要问题相反,泵由一个约100微米深,直径小于1厘米的小室组成,两个“阀”连接在一起这些是切入硅中的两个微小通道,其形状使得流体在一个方向上比另一个方向更容易移动一个通道“吸入”流体进入泵腔,另一个通道将其排出通过弯曲腔室上的盖子,通过出口通道挤压流体来进行泵送当盖子向上移动时,腔室通过通向腔室的通道重新填充使用与半导体相同的工艺制造微型泵的硅原型将保护层或光致抗蚀剂以特定图案施加到硅晶片的表面,然后使用离子轰击对其进行蚀刻晶片上未受保护的表面区域被磨损,从而在硅中留下泵的形状为了完成该装置,将薄的Pyrex玻璃条粘合在腔室的顶部作为盖子,并且将压电装置固定在其上面贯穿设备的电势每秒开启和关闭数百次,使盖子弯曲进出泵每分钟可以移动200微升,研究人员正在学习如何提高效率计算机模拟让团队了解泵如何与各种流体和通道形状配合使用泵的可能用途包括喷墨打印机中的墨水输送,用于士兵的便携式化学武器监视器,